電子潔凈室氣壓規(guī)定及控制篇

電子潔凈室氣壓規(guī)定及控制篇

 
      對于大部分電子行業(yè)潔凈空間，為了控制一定的潔凈度，需要防止外界污染侵入，所以要保持

內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。這樣外界的污染就不會侵入室內(nèi)。其中壓力差的維

持一般應(yīng)符合以下原則：

                     
 
1 潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
 
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
 
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理

意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。


潔凈室中的氣流速度規(guī)定：

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     這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說

明。對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概

念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求；
 
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。
 
(2)吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污

染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。
 
對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的

速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需

要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。


 
在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計規(guī)范））都是這樣規(guī)定的

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垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s

             
 
水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s